TAKANO_WM-10

UPLUS ENGINEERING

반도체 표면 검사장치(표준기) : WM-7SR

오랜 업계 경험을 축적한 베스트셀러 기종, Low cost & High Performance로 진화

반도체 Wafer 표면 검사 공정에서 30년 이상의 실적을 자랑하는 당사의 베스트셀러 기종. 최신 오리지널 광학계를 탑재하여 보다 우수한 고감도를 실현하여 금속막 감도가 보다 향상되었습니다. 광원 업계 최초로 Violet (청자색 반도체) LD를 탑재하여 Running cost를 대폭 절감하였습니다. 2인치~8인치까지의 Wafer Size에 대응하여 시작·양산 공정 뿐만 아니라 R&D 용도에도 최적인 Low Cost & High Performance 기종입니다.

제품특징

  • 세계 최초의 Violet LD (청자색 반도체 레이저) 탑재로 Running cost 를 대폭 절감 달성
  • 고성능 · 저가 · 간단 조작 · 공간 절약 실현
  • 다양한 Wafer Size에 대응하며 양산 공정에서 R&D부문까지 폭 넓게 대응
  • 실제 계산처리로 정확도 높은 Particle 정보를 제공

제품사양

광원 Violet LD(청자색 반도체 레이저)
검출/주사방식 나선 주사 방식
최고 검출감도 80nm*베어(Bare) Wafer
재현성 σ/X ≦ 1% *99% 이상
검사대상 Bare Wafer / Coated Wafer
대응 Wafer Size 2인치~8인치
장치 Size WxDXH 800 X 900 X 1,650mm
중량 600kg

제품옵션

  • 자동 감도 보정 기능
  • 헤이즈 (Haze) 측정 기능
  • 고감도 모드
  • Map 중합 기능
  • XY좌표 출력 Soft (통신)
  • 상위 통신 Soft