TAKANO_WM-10
UPLUS ENGINEERING반도체 웨이퍼 표면 검사장치 : WM-10
세계 최초의 Violet LD를 탑재한 업계 최 저가 기종
Wafer 표면 검사장치 WM-10은 6~8인치 또는 8~12인치 Wafer에 대응하는 베어(Bare) 실리콘 Wafer 상태에서 48nm의 고감도 Particle 측정이 가능합니다. 세계 최초로 광원에 Violet (청자색 반도체) 레이저를 탑재하여 60~90nm Process Node에 최적의 성능과 파격적인 비용절감을 실현한 High end 기종입니다.
제품특징
- 65~90nm Process Node 양산·시작에 최적인 최고 검출 감도 48nm를 달성
- 세계 최초의 고출력 Violet-LD를 사용하여 Running Cost를 대폭 절감 실현
- 업계 최고 Class의 Throughput
- 업계 최소 Class의 Small Foot Print (12인치 대응기)
- 2축 광학계 탑재로 마이크로 스크래치(미세 결함)의 결함 분리가 가능
- 자동 감도 보정 기능, COP분리, FOUP등 다양한 옵션 준비
제품사양
| 광원 | Violet LD(청자색 반도체 레이저) |
|---|---|
| 검출/주사방식 | 산란광 검출/나선 주사 방식 |
| 최고 검출감도 | 48nm*베어(Bare) Wafer |
| 재현성 | σ/X ≦ 1% *99% 이상 |
| 검사대상 | Bare Wafer / Coated Wafer |
| 대응 Wafer Size | 12/8 인치, 또는 8/6 인치 |
| 장치 Size WxDXH | 1.482 X 1,173 X 1,950mm |
| 중량 | 900kg |
제품옵션
- 자동 감도 보정 기능
- 헤이즈 (Haze) 측정 기능
- Map 중합 기능
- Double Wafer Port
- 4인치 Wafer 반송
- XY좌표 출력 Soft (통신)
- 상위 통신 Soft