DIC 초순수대전방지장치

DIC가 독자적으로 개발

eFLOW Series는 DIC가 독자적으로 개발한 「중공사기체투과막」을 집어 넣어 탄산가스(CO2가스) 공급하는 방법으로 초순수의 비저항치를 제어하는 장치입니다. 정전기에 의한 「이물질재부착」방지나 기판 패턴의 「정전기 파괴」방지의 효과를 얻을 수 있습니다.

제품특징

• 복잡한 기구가 포함되어 있지 않기 때문에 고장이 적음
• 독자 배관분기 방식에 의해 비저항치의 제어가 간단하고 안정성이 뛰어납니다.
• 탄산가스 공급 모듈의 수명이 깁니다. (5년간 보증. DIC 제품)

적용사례

• 마스크, 레티클 세정
• 스크러버 세정
• 고압Jet 세정
• 다이싱(Dicing)공정의 세정
• Cell 세정

Panel Mount Type (P series)

P Series는 IEA (미국전자공업) 규격 준거한 Rack 설치가 가능 합니다.
1AP Type은 표준기가 접속부 All clean 사양이며, 2AP Type은 옵션으로 All clean 대응이 가능합니다.

제품명	처리유량(L/min)	Module
eFLOW 1AP-B02	1-16	PF-001L-NA 1ea Module
eFLOW 2AP-B01	5-30	PF-001L-ND2 2ea Module
eFLOW 3AP-B01	10-50	PF-001L-ND3 2ea Module

Cabinet Mount Type (C series)

C Series는 CO2 실린더 2개가 탑재 가능한 Cabinet Type입니다. 비저항 센서를 Cabinet에 내장하여, eFLOW 사용 현장에서 직접 배관 접속이 가능합니다.

제품명	처리유량(L/min)	Module
eFLOW 1AC-P201	1-16	PF-001L-NA 1ea Module
eFLOW 2AC-P201	5-30	PF-001L-ND2 2ea Module
eFLOW 3AC-P201	10-50	PF-001L-ND3 2ea Module